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水性环氧树脂及固化剂种类及对产物影响 专利称号:水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子设备的制作办法专利申请号: 2151387.2公开号:1428358申请人:水性环氧树脂及固化剂种类及对产物影响 日本株式会社日立制作所本发明供给一种能够以较少的工序数目制作、高精度且低缺点的krf准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的krf准分子光平版印刷法用光掩模,是在石英玻璃基板上直水性环氧树脂及固化剂种类及对产物影响接构成可将krf受激准分子激光(波长约248nm)有效地吸收的抗蚀图画。抗蚀图画是在萘环导入至少结合水性环氧树脂及固化剂种类及对产物影响有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物作为高分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。信息来历:广东印刷
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