将从三氯氢硅组成炉排出的尾气，经紧缩使其压力到达 .7

    MPa后进入水冷却器进行开始冷却，柔韧性好的羟基丙烯酸树脂然后再进入冷凝器经45℃冷媒进一步冷却，这样绝大部分三氯氢硅被冷凝成液体，与氯化氢、氢气别离冷凝的三氯氢硅液体与组成的三氯氢硅一起送中心产品贮罐，未被冷凝的少数柔韧性好的羟基丙烯酸树脂氯硅烷、氯化氢和氢气，能够采纳以下三种办法进行收回处理。(1)

    归纳收回法未被冷凝下来的氯化氢、氢气、氯气回来氯化氢组成体系，氢气与氯气按必定份额混合，焚烧生成氯柔韧性好的羟基丙烯酸树脂化氢，循环运用。选用归纳收回办法使组成工序开路工艺流程变为闭路循环，进步原材料运用率，下降了原材料单耗，完成了无废气排出，彻底处理了环境污染问题。可是，尾气中含有的微量氯硅烷容易与氯化氢中的水反响生成固体二氧化硅阻塞管道，下降三氯氢硅的收率。(2)

    淋洗中和处理办法氯化氢、氢气和少数的未冷凝的氯硅烷送尾气淋洗塔，用很多水进行喷淋吸收，氯化氢溶解于水中，氯化氢水溶液经氢氧化钠中和合格后排放。淋洗中和处理办法工艺简略，技能老练，出资少，通过操控喷淋体系的水量和中和池的氢氧化钠的投入量，也能够很好地完成合格排放。缺陷是没有对氯化氢和氢气进行二次运用，使耗费增高。别的尾气中的氯硅烷与水反响生成不溶于水的二氧化硅和盐酸，一起氯化氢溶于水也构成盐酸，三废处理量较大。(3)

    尾气吸附处理办法运用活性炭对氯硅烷的吸附效果。当尾气中氯化氢、氢气及少数未液化的氯硅烷通过活性炭后，其间的氯硅烷就被活性炭吸附，当活性炭吸附饱满后，由蒸汽加热，脱出吸附的氯硅烷，与组成产品一起送离体系进行别离。未被吸附的氯化氢经水吸收后，变为副产品盐酸外售。剩下的氢气送氯化氢组成体系按必定份额与氯气焚烧生成氯化氢循环运用。吸附塔吸附办法是在收回少数的氯硅烷的基础上，尾气中的氯化氢被水吸收后成为盐酸。不光处理了酸性水排放的问题，一起增加了副产品盐酸，增加了经济效益。可是该办法对活性炭的要求较高，蒸汽用量较大，经济性差。

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