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硅烷的通式SinH2n+2。已知的有SiH4、Si2H6、Si3H8、Si4H1 、Si5H12和Si6H14六种直链的或支链的氢化硅。硅烷的热稳定性跟着分子中硅原子的增多而敏捷下降。SiH4和Si2H6在4 ℃时开端分化，Si4H1 在室温时已显着分化，Si6H14的分化速率更快。硅烷在空气中能焚烧，生成SiO2和水；与卤素单质效果生成卤代硅烷；在催化剂存鄙人含羟基的聚氨酯丙烯酸树脂与卤化氢效果生成卤代物；硅烷能被水分化成SiO2和氢气含羟基的聚氨酯丙烯酸树脂；硅烷与醇类反响生成硅酸酯。此外，硅烷在催化剂存鄙人还能与氯仿含羟基的聚氨酯丙烯酸树脂产生氢和氯的对换效果。
硅烷可由卤化硅与氢化铝锂在乙醚中反响制取。含羟基的聚氨酯丙烯酸树脂硅烷中的甲硅烷较重要，它是热分化法制取超级硅，出产半导体硅的质料。硅氧烷是含有结构的有机硅化合物，简略的硅氧烷如下：硅氧烷可由有机卤化硅烷水解而制得。它是聚硅氧烷的单体。
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